更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡
消費電力を抑えた高品質なLED照明で省エネ対策をサポートします！
当社で取り扱う、フィリップスの「直管LEDランプ」をご紹介いたします。 仕様を向上させながら、シリーズで10年以上継続しているベストセラー製品。 片側給電方式により、施工時やランプ交換時の感電を防止し、50、000時間の 設計寿命と5年間の長期製品保証を提供します。 また、蛍光灯安定器の消費電力(5～10W)がカットされ、高い省エネ効果が 得られます。ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■日本市場で評価されてきた実績 ■安全性と信頼性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
捕虫器用、光触媒、樹脂硬化など
365nmのピーク波長を持つUV-Aのガラス管タイプのLEDです。捕虫器用には拡散タイプ、光触媒や樹脂硬化には、透明タイプをお勧めします。
