真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年10月15日~2025年11月11日
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真空ポンプの製品一覧

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ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS1500

創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低

創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS1500 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量!最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

  • ポンプ

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株式会社コスモファクトリー 会社案内

自然環境と調和した事業活動を行い、社会の進歩と繁栄に貢献することを目指します!

コスモファクトリーは、真空ポンプの点検・整備・メンテナンス サービスを行っております。 各種メーカーの生産工程に活きる当社の豊富な知識と確かな技術。 半導体プロセスラインを主体とした真空ポンプの点検、設備、 補修などのサポートサービスは、ひとつの技術商品として確立しており、 高い評価をいただいております。 さらに、より生産性の向上を目指した関連部品も独自に研究開発。 各種メーカーのパートナー企業として、当社は技術への限りない挑戦と 創造に努めています。 【業務内容】 ■ポンプ修理 ■メンテナンス各メーカー対応 ■新品・中古ポンプの販売 ■真空継手類製作・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ポンプ

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コンビネーションパッケージ型ドライ真空ポンプ CBXPシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、 ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。

■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3~5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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ベッカー(Becker) ドライ真空ポンプ 総合カタログ

ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。

完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?

  • ポンプ

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ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS250

創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低

創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS250 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ 吸込風量 290?/h 最大真空度 0.1 mbar インバーター内蔵のため外付けする必要なし 既設のオイルポンプからの置き換えや、複数台を1台に集約することでコストを抑えるなど、オイルを使用したくないクリーンな環境にも対応した次世代のポンプとしてさまざまな分野でお使い頂いております。 メンテナンス代も含めたトータルコストの削減が可能です。 お問い合わせ頂ければ、コストメリット算出のお見積りいたします。 ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

  • ポンプ

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オイルフリー真空ポンプ KCPシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。

■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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オイルフリー真空ポンプ インバータモデル KCEシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。

■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84%の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84%の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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オイルフリー真空ポンプ KCM620

オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。

■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0~100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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オイルフリー真空ポンプ KCM310

オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。

■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0~100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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ロータリーベーン式オイルフリー真空ポンプ(吸引用)

オイルフリー真空ポンプ!! モーター一体又は直結の軽量コンパクト設計!完全ドライ、オイルフリー、メンテナンスフリーで静音(低運転

創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

  • ポンプ

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スクリュー式ドライ真空ポンプ

低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易

当社では、独自のスクリュー形状(Queen Bee Screw)により 驚くべき低速(3600min-1/60Hz、3000min-1/50Hz)を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • その他 バッテリー

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