サービスガイド×株式会社ウェーブフロント - メーカー・企業と製品の一覧

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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例

CCP(容量結合プラズマ)装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」シミュレーション事例

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解析)」シミュレーション事例

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、マグネトロンスパッタ装置内の原子の挙動をシミュレーション

Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール(下段の製品説明参照)のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。

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ギヤポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!他のCFDソフトが苦手なポンプに特化したCFDソフト!

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ(亜音速) ■キャビテーション ■流れ場(速度ベクトル、 圧力)、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!! 最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。 ※Web上には載せられない情報が多数ございます。 特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!!

  • その他ソフトウェア

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ギアポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!他のCFDソフトが苦手なポンプに特化したCFDソフト!

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ(亜音速) ■キャビテーション ■流れ場(速度ベクトル、 圧力)、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!! 最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。 ※Web上には載せられない情報が多数ございます。 特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!!

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ベーンポンプに強い流体解析ソフトウェア Simerics MP+

ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! 他のCFDソフトが苦手なポンプに特化したCFDソフト!

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ(亜音速) ■キャビテーション ■流れ場(速度ベクトル、 圧力)、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!! 最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。 ※Web上には載せられない情報が多数ございます。 特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!!

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マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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大規模データを活用した設備パフォーマンス最大化のためのツール

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース化!実際のアクションに繋げお客様の機会損失を低減します。

◆こんなお悩みをお持ちではありませんか?◆ ・故障情報は集まっているが何をすれば良いのかが分らない ・集めた故障情報を上手く活用したい ・故障情報を元に、自分達で分析を行いたいが良い方法が分からない ・分析した結果をアクションに繋げて機会損失を減らしたい ◆故障情報のデータ整理から仕組み構築◆ 弊社では上記のようなお悩みに対して、 1.問題意識の具体化 2.算出するべき指標(KPI)の提示、選択 3.故障情報のデータベース化 4.現状の故障データを活用した分析の実施 5.分析結果から導き出させれるアクションの考察 6.1~5を行うための仕組み構築 といった流れで故障情報を整理した上で、お客様自身が分析結果から機会損失の元となる不具合や故障を低減できるであろうアクションを選択できる仕組みの構築までをお手伝い致します。 上記内容は故障情報が事前に収集されている/出来る事を前提としていますが、故障情報が極端に少ない、集まっていない場合でも対応可能です。(※1) ※1:詳細な資料をご覧になられたい場合は別途お問い合わせください。

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『故障率と信頼性情報の関係』

故障率と信頼度、故障確率密度、不信頼度の関係性をご紹介!

当資料は、故障率と信頼度、不信頼度、及び、故障確率密度等の信頼性情報の 関係についてご紹介をしています。 信頼度、不信頼度、故障確率密度と故障率には、密接な関係があり(必要に応じ て見方を変えたもの)、何れかが判ると他の指標も判ります。 CMMS/EAM を用いて、故障を管理している場合、時間軸に対する故障数を 集計することが出来ます。 時間軸に対する故障数が判れば、故障率、信頼度、不信頼度の時間依存が判ります。 この特性を生かした故障分析の手法にワイブル分析があります。 【掲載内容】 ■故障率と、信頼度、故障確率密度、不信頼度の関係 ■図の詳細説明 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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説明可能な機械学習ソフトウェアのセミナー資料をプレゼント!

受託開発不要!すぐに使用できる機能を標準で提供する機械学習ソフトウェアの活用方法を実例をもとにご紹介!

このような事でお困りではありませんか? ◆機械学習によって構築されたアルゴリズムの内容が理解できない/説明できない ◆機械学習を検討しろと言われているけど、すぐに使えるツールとして提供されているものが少ない ◆プロジェクトの実施の提案を受けるが費用が高額で手が出ない…等 「SPMを使用した機械学習, 及び, コンクリート強度の予測分析セミナー資料」ではコンクリートを例にとり、 ◆なぜ従来の統計手法が有効に活用されていないのか? ◆なぜ機械学習が活用されるのか? ◆どのように機械学習が活用されたか? といった点を説明いたします。

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粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 科学計算・シミュレーションソフトウェア
  • 分析・予測システム

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バルブに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

バルブや容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! 他のCFDソフトが苦手なバルブやポンプに特化したCFDソフト!

Simerics MP+ は、様々なバルブ、ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ(亜音速) ■キャビテーション ■流れ場(速度ベクトル、 圧力)、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!! バルブの解析はもちろん、最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。 ※Web上には載せられない情報が多数ございます。 特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!!

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オイルポンプに強い流体解析ソフトウェア『SimericsMP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! 他のCFDソフトが苦手なポンプに特化したCFDソフト!

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ(亜音速) ■キャビテーション ■流れ場(速度ベクトル、 圧力)、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!! 最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。 ※Web上には載せられない情報が多数ございます。 特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!!

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