東北大学技術:AlN膜を有する基板および製造方法:T13-034
安価なサファイヤ基板上に、“超高品質”な窒化アルミニウム膜を作製可能!
紫外発光素子は、蛍光灯の代替、高密度DVD、生化学用レーザ、光触媒による公害物質の分解、He-Cdレーザ、水銀灯の代替など、次世代の光源として幅広く注目されている。 この紫外発光素子は、ワイドギャップ半導体と呼ばれるAlGaN系窒化物半導体からなり、サファイアなどの異種基板上に積層される。一方、サファイア上に成長したAlN膜には多数の貫通転位が存在し品質が悪いといった課題があった。 本発明は、サファイア上に成長したAlN膜を有する基板をN2/CO混合ガス中で熱処理して形成するといった簡単な方法でAlN膜の結晶性を飛躍的に向上させるものである。
- 企業:株式会社東北テクノアーチ
- 価格:応相談