【技術解説】 ヴァイサラHUMICAP相対湿度センサ
優れた長期安定性を持った高分子薄膜静電容量式センサ
1973年、ヴァイサラは高分子薄膜静電容量式湿度センサHUMICAPを開発しました。以来、ヴァイサラは相対湿度計測の市場をリードするメーカーへと成長を遂げ、高分子薄膜静電容量式湿度センサは一企業の新技術から業界のグローバルスタンダードへと進化しました。
- 企業：ヴァイサラ株式会社
- 価格：応相談
センサ(薄膜) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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センサの製品一覧
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【技術解説】 ヴァイサラDRYCAP 露点センサ
独自開発の自動補正機能を備えた高分子薄膜センサ
1997年、ヴァイサラは高分子薄膜技術に基づく新しいタイプの露点センサであるDRYCAPを発売しました。以来、DRYCAPシリーズの用途は、乾燥処理、圧縮空気、ドライチャンバーなど非常に広い範囲に広がっています。DRYCAPセンサは、特に高温と非常に乾燥した環境における信頼性の高い性能が評価されています。
- 企業：ヴァイサラ株式会社
- 価格：応相談
医療機器用サーミスタセンサ
体内に入れるための極小サイズと、精密なセンシングを実現しました。
体内に入れるための極小サイズと、精密なセンシングを薄膜センサで実現しました。カテーテルや深部体温測定に使用できます。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
薄膜サーミスタ「FTサーミスタ」
極薄！極小！高感度！薄膜技術による独自のサーミスタ
FTサーミスタは薄膜技術によって実現したSEMITEC独自のサーミスタです。 従来のいわゆる”焼き物”の製造方法で作られるサーミスタとは一線を隔した、極薄・極小・高感度のサーミスタで、耐熱性にも優れているため様々な分野にご採用頂いています。 複写機やプリンタでは標準センサとして採用され、体温計等のヘルスケア用途でも多くの実績をあげ、更に、医療用カテーテルにも採用されています。 また、高い精度で特性のペアを得ることも可能で、これを応用した独自の赤外線非接触温度センサ（NCセンサ）の他、これまでのサーミスタの枠にとらわれない新たな活用方法も期待出来ます。 【特長】 ○超小型：1.0mm×0.5mm×t0.15mm 0.6mm×0.3mm×t0.15mm 0.6mm×0.3mm×t0.10mm ○高耐熱：Max 350℃ ○高速応答 ○高信頼性
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
体温計測用センサ
「超小型」、「高速応答」、「非接触」それぞれの特長を持った温度センサ。 医療、ヘルスケア、ウエアラブルデバイスに最適です。
＜体温計＞ ●ET-3H 従来品よりもより小型化を実現！ サーミスタの特性を高精度に分類しているため、測温誤差が非常に小さいことが特長です。 ●FT-ZM SEMITEC独自の製品！他社にないサーミスタの薄膜技術化により生み出されました！ 薄膜サーミスタ「FTシリーズ」の特長である「薄い」「小型」により、測温部に面接触することができ、従来の「ET-3H」よりも70％アップの高速応答性を実現しました。 ＜カテーテル＞ ●Fμセンサ 直径0.5ｍｍ、直径0.3ｍｍの超小型センサをご用意！ 薄膜技術と微細加工技術によって生み出された、小型かつ高精度なサーミスタセンサです。 薄膜サーミスタFμシリーズを開発し、小型化に加えて、サーミスタ特性を均一にするトリミング技術で高精度（特性公差±0.3%）を併せ持ちます。医療（カテーテル）用途でとして実績がある製品です。 ＜耳式体温計＞ ●サーモパイル 鼓膜から発する赤外線を検知し、非接触で体温計測をすることが可能！ 「耳式体温計」をはじめ、コロナ禍において見かける額体温計に活用されています。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
東北大学技術：単一平面型素子で磁場検出：T21-257
IoT用途の3次元磁場センサの小型化に貢献
磁場を電気的に検出することのできる磁場センサは、非接触電流検出、角度・位置検知、電子コンパスなどの様々なアプリケーションに用いられて います。一般的な磁場応答素子は、ある特定の方向の磁場成分だけを検出するため、3次元空間の磁場ベクトル方向の検出には、それぞれの方向に対応する複数の素子を立体的に組み合わせる必要があります。このことが、IoT分野で急速に需要が高まる素子小型化や集積化の障害となっています。本技術は、立体構造を必要としない平面型の磁場センサの発明に関するものです。強磁性Fe-Sn薄膜の磁気抵抗効果と異常ホール効果が磁場角度依存性を示すことを利用し、薄膜各部に生じる電圧から3次元空間の磁場ベクトル方向を決定します[1]。単一の感磁層を汎用の素子加工法でパターニングするだけで、3次元磁場センサを作製することができ、他素子との回路集積に適しています。この薄膜は、室温で形成可能、かつ、磁性体特有の効果を用いたIoTデバイス[2-5]にも応用できることから、磁場センサだけでなく、機能複合化による新たな用途創出も期待できます。
- 企業：株式会社株式会社東北テクノアーチ
- 価格：応相談
光ファイバ式水素センサ_Hydlog10
水素選択性に優れた本質安全防爆の光ファイバ式水素センサ
○電気を使わない本質安全防爆設計 〇1000ppm～水素にのみ選択的反応 〇無酸素、減圧環境下での使用も可能 〇市販の記録計（データロガー）と接続が容易 〇水素プローブとして既存設備に組込み＋モジュール利用が容易
- 企業：九州計測器株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
灯油センサ（警報セット）
灯油のヘッド圧を検知して動作。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がない
灯油センサ（警報セット）は、灯油のヘッド圧を検知して動作する圧力式灯油センサです。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がないため、灯油ホームタンクの油切れ防止用に２０年以上前から使われています。台所にあるボイラーリモコンに油が少なくなったときに、セグメント表示をしたり音声で警報を出すなどに多く使われております。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：フジコントロールズ株式会社
- 価格：応相談
【技術解説】 ヴァイサラPEROXCAP相対湿度センサ
過酸化水素蒸気、相対水分飽和度、相対湿度計測用
PEROXCAP計測は、2つのヴァイサラHUMICAPセンサを使用します。1つは触媒層あり、もう1つは触媒層なしのHUMICAPセンサです。HUMICAPは、2つの電極の間にはさまれた高分子薄膜をアルミナ基板上に持つ、高分子薄膜静電容量式センサです。 PEROXCAP計測では、2つのセンサの計測値の差によって過酸化水素蒸気の濃度を示します。
SEMITECの生体センサ ラインナップのご提案
独自の薄膜・微細加工技術を駆使し各種生体センサを開発 ウエアラブルセンサや未知の生体センシングについてもご相談下さい
SEMITECの生体センサラインナップでセンシングニーズにお応えします！ 体温計や非接触体温計用の温度センサをはじめ、カテーテルに組込むことができる極小タイプ、フレキシブルで極薄タイプ、ウエアラブル機器に搭載可能な体表温度センサプローブもラインナップ。 深部体温計測向けの熱流センサ、小型で高速応答のブレスセンサ、生体圧力センサ、歪センサについてもご相談ください。 センサ性能を最大限引き出した、生体情報のセンシングニーズに対応できるアプリケーションを提案いたします。 まだ世にないセンサニーズにもSEMITEC独自の薄膜・微細技術でご提案します。 未知のセンシングのお困りごとをご相談ください。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
【高感度水素選択センサモジュール】Hydlog20
センサーの誤検知にお困りの方必見！ 高感度センサー＋水素選択性センサのハイブリッドセンサモジュール
ガスセンサのトレードオフを解消する目的で、 高感度かつ水素選択性に優れた「水素漏洩検知のため」のセンサモジュールを開発しました。 【特長】ハイブリッドセンサモジュール （トリガーセンサ＋メインセンサ＝ハイブリッドセンサモジュール化） ＜超音波式水素ガスセンサー（トリガーセンサー）＞ ■高感度(1,000ppm) ■高速連続検知（瞬間的な水素を捕らえる） ■他のガス濃度を捕らえることも可能 ＜合金薄膜センサー（メインセンサー）＞ ■水素にのみ反応する水素吸蔵合金を薄膜化 ■混合ガス環境下でも確実に水素にのみ反応 ■無酸素環境下においても水素を検知 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：九州計測器株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
ダクトマウント用 湿度センサー
高精度かつ長期安定性！結露による性能失陥を防ぐ為ダクト用プローブの内側で完全にシーリングされています。
薄膜ポリマー容量センサー素子（ＨＳsensor）と内臓マイクロプロセッサーにより、最高１％の高精度を実現し、かつ長期安定性に優れた湿度センサーです。 １００％湿潤状態(水没)からも復元、正常測定が可能です。センサー素子は現場で交換が簡単にでき、その際全くキャリブレーションを必要とせず、要求された精度を維持します。 精度は±1,2,3,5%の各々のタイプがあります。 ★ただ今、販売代理店を募集しております。お気軽にご連絡下さい！
- 企業：EDI Japan株式会社
- 価格：応相談
セトラ社 高性能圧力センサ モデル５４０／５４２シリーズ
モデル５４０／５４２シリ－ズ高性能圧力センサは、長期的に高いパフォーマンスが必要な過酷なアプリケーション用に設計されています。
薄膜技術を駆使して製作されたモデル５４０／５４２は、計測精度±０．１％又は±０．０８％ ＦＳから選択でき、使用温度は－５４℃～１２０℃の幅広い温度補償範囲を持っています。センサ出力は３０ｍＶＤＣフルスケールの圧力センサです。 ゲージ圧、シールドゲージ圧、絶対圧は０～１００ｋＰａから最大６９ＭＰａまでの計測範囲から適切な圧力レンジの選択が出来ます。差圧計測は０～１００ｋＰａから２ＭＰａまで計測できます。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４０ＭＰａまでは１７－４ＰＨステンレス又はインコネルで接液部は構成されます。圧力レンジの、６０、６９ＭＰａと１００００ｐｓｉレンジはインコネル材質だけで構成されます。ステンレス鋼の接液部を注文する時は、モデル５４０を指定しインコネルの接液部を注文する時は、５４２を指定します。モデル５４０／５４２は電気接続に１０-６バイヨネットコネクタ、耐候性ケーブル、モールド水中ケーブル（２００ｍまで）から選択可能です。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格：10万円 ~ 50万円
【BOURNS】12mmロータリーポジションセンサー ＊3382
ロータリーポジションセンサ生産中止でお困りの方、 置き換え提案をしています。
Bourns社では村田製作所SVシリーズの相当品をラインナップ、 置き換え提案をしています。 ■特徴 面実装＆スルーホール 12平方ミリメートル 製品寿命100万回転 薄型 RoHS適合 AEC-Q200 準拠 サンプル依頼は正規代理店のセイワまで、お気軽にお問合せください。
OA機器用サーミスタセンサ
プリンタや複写機（コピー機）等、センサ加工を行い供給させて頂いております
OA機器用サーミスタセンサでは、プリンタ、複写機（コピー機）、スキャナ、プロジェクタ、ファクシミリ、ルーターなど、その他各種カスタムでセンサ加工を行い供給させていただいております。SEMITEC株式会社ではバルクセンサ、薄膜センサ、赤外線センサを取扱っており、温度センサを筆頭に、エアコン・冷蔵庫などの家電製品、プリンタ・複写機などのOA機器、自動車、医療機器など幅広い用途に使用されております。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
セトラ社 高性能圧力センサ モデル５４６／５４７シリーズ
モデル５６７高性能圧力センサは、高過負荷アプリケーション用です。 圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。
セトラ社のモデル５４６／５４７圧力センサは、高圧の過負荷アプリケーションに理想的な、５：１の圧力レンジ変更機能で、圧力レンジの２５％からフルレンジの１２５％フルスケール出力の調整ができる頑丈なハウジングで製作された圧力センサです。 薄膜技術を駆使し製作された、モデル５４６／５４７は、高過負荷に優れ、精度±０．１％ＦＳで、温度補償範囲は、－２５℃～７５℃、出力信号は４～２０mAです。 圧力モードはゲージ圧、シールドゲージ圧、絶対圧から選択でき、圧力計測範囲は０～６８ｋＰａから６８ＭＰａまで１５種類の圧力レンジでカバーしています。 モデル５４６／５４７は、工業用アプリケーションで腐食性のメディアで長期間メンテナンスフリーで使用するために設計され、１７－４ＰＨステンレス鋼またはインコネルを接液部に選択できます。 選択された電気的接続に応じて、ＳＵＳ３２１、ＳＳ１７－４ＰＨで製作され、選択された電気接続に結合すると、ＩＰ４０、ＩＰ６５またはＩＰ６８の環境保護動作が保障されます。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格：10万円 ~ 50万円
【開発中】においセンサプラットフォーム デモ機有り！
微量な重量変化をハンディで簡単に計測！
微量な重量を計測できるQCM（Quartz Crystal Microbalance）を使ったにおいセンサプラットフォームを開発しました。 においの吸着膜を形成するだけで、においセンサとして使えます。 またSEMITEC独自の薄膜サーミスタを形成することで、QCMセンサの持つ周波数の温度依存性を正確に補償することができ、お手軽に高精度な計測を実現できます。 ＊詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
超薄型で曲げられるフレキシブル温度センサー『薄膜熱電対』
薄くて曲がる温度センサー！厚み10μmでフレキシブルで高感度な素子を実現。熱容量が小さく温度の変化にすばやく応答。
■概要 耐熱フィルムと薄膜でつくった薄型熱電対です。 測定したいものにあわせて、形状や測定点の位置や数などをカスタマイズできます。
- 企業：ジオマテック株式会社
- 価格：応相談
車載用サーミスタセンサ
エンジン制御用、カーエアコン等、センサ加工を行い供給させて頂いております
車載用サーミスタセンサでは、エンジン制御用、カーエアコン、エバポレータ、ハイブリッド自動車、冷却水、IGBT、各種モーター温度検知用、バッテリー、その他各種カスタムでセンサ加工を行い供給させていただいております。SEMITEC株式会社ではバルクセンサ、薄膜センサ、赤外線センサを取扱っており、温度センサを筆頭に、エアコン・冷蔵庫などの家電製品、プリンタ・複写機などのOA機器、自動車、医療機器など幅広い用途に使用されております。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
【Bourns】 湿度センサー＊安定したパフォーマンス性
相対湿度を測定するための最小サイズの高信頼性センサーが含まれています！
BPS 湿度センサーは、革新的な容量技術に基づきコンパクトなパッケージサイズながらも 非常に正確にコンディションを読み取ります。 BPS モデルは、その他のセンサー・コントロール製品と同様に、 お客様の特定の用途に合わせて変更可能です。 【特徴】 • 精度: ±3.0 % RH • 動作範囲: 0 ~ 100 % RH • 温度範囲: -30 °C ~ +100 °C • 供給電圧範囲: 1.62 ~ 5.5 VDC • 出力: デジタル I2C（ 温度および湿度） • RoHSおよびREACH準拠** 【ラインナップ】 BPS110（差圧・ゲージ圧－電圧比出力、超低圧） BPS120 (差圧/ゲージ圧 - デジタル出力 I2C、超低圧) BPS130 (ゲージ/絶対値 - 電圧比出力、高温、高圧、過酷な媒体) BPS230（0～100％RH、±3％、小型サイズ：2.0×2.0×0.75mm） カスタマイズにつきましては、セイワへにお問い合わせください。
ＢＤ社 超高圧用 高精度圧力センサ ＤＭＰ３３４ｉ
ＢＤ社 超高圧用 高精度圧力センサ ＤＭＰ３３４ｉ
● 薄膜センサを溶接した構造 ● ６０～２２０MPa FS まで５レンジを用意 ● デジタル補正により精度±０．１％ＦＳを実現 ● ４～２０mA または０～１０V 出力 ● ＲＳ２３２出力可（オプション） ● 用途例：高圧ポンプ 商用車 油圧装置 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格：応相談
体表温用「SSセンサ」
“より素早く” “より正確” に！体表温度を測定する温度センサ
「SSセンサ」は、体表温度を“より素早く” “より正確” に測定するウェアラブル機器?温度センサです。 電?体温計?サーミスタを?年供給しつづけているSEMITECが、?膚表?温度を測定するウェアラブル機器に適した形状の温度センサを開発しました。 ?属ケースとSEMITEC独自の小型薄膜サーミスタの組合わせにより、対象物の温度変化を素早く捉えることが可能です。 【特徴】 ○正確な追従性 ○カスタムが可能 ○組み込み製品 ○熱応答性が非常に良い ○体温計サーミスタの実績あり
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
カラタン（カラータングレスインサート）
余分な検査をなくしたい！というお客様の声から作った当社のオリジナル製品
『カラタン（カラータングレスインサート）』は、タングレスインサートに 色を付けることで挿入作業後の確認を容易にした製品です。 目視チェックだけで挿入モレをなくすことが可能。 また、挿入時の塗膜ハガレ・アウトガスの心配がないため、半導体関連部品にも 採用いただけます。 【特長】 ■カラー化で挿入モレ防止 ■超薄膜で作業性そのまま ■ハガレ・アウトガスなし ■大きくタップを開けたりする手間は不要 ■材質：A2（SUS304） ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：池田金属工業株式会社
- 価格：応相談
【BOURNS】温湿度センサー『BPS240』高感度の相対湿度◎
センサーの寿命にわたって高い信頼性と安定性を提供！高感度の相対湿度センシング＊低電力で稼働！小型パッケージ・高速応答
BOURNS社 温湿度センサ『BPS240』は、革新的な静電容量方式のセンサー技術に基づき、 コンパクトなパッケージサイズながらも正確に湿度および温度を読み取ります。 低電圧で作動可能。高感度の相対湿度センシングが特長です。 BPSモデルは、その他のセンサ・コントロール製品と同様に、 お客様の特定の用途に合わせてカスタマイズが可能です。 【特長】 ■センサーの寿命にわたって高い信頼性と安定性を提供 ■低電圧動作 ■高速応答 ■小型パッケージサイズ(2.0mm×2.0mm×1.25mm) ■バッテリー対応アプリケーションの低電流消費 ■RoHS および REACH 準拠 【仕様（抜粋）】 ■湿度測定範囲：0～100％ RH ■温度測定範囲：-30℃～+100℃ ■出力：I^2C,10ビット ■精度：±2.0％ RH ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光干渉(WLI)センサー【活用事例集アリ】
光が通れば何でも断面計測！薄膜から厚板まで！
実用的な工業用途センサーとして、樹脂板やフィルムの溶着検査や欠陥検査など幅広い検査分野や膜厚測定・変位計測などに適用が可能。 光が通れば何でも断面計測が可能です。 ◆まずはお気軽に「活用事例集」をダウンロードして下さい◆ 詳細はお問合せフォームからお問合せ下さい。
- 企業：株式会社精光技研
- 価格：応相談
【開発中】保護熱源式温度センサ デモ機有り！
独自のセンシング技術で熱伝導率計測を実現！
八戸工業高等専門学校および弘前大学と共同で『保護熱源式温度センサ』を開発しました。センサを能動的に機能させることにより熱物性（熱伝導率）の測定が可能になった常識を変える新しいセンサです。 本センサは、SEMITEC独自の温度に俊敏に反応する薄膜サーミスタ（FTシリーズ）を複数個使用した専用デバイスと、独自の制御システムから構成されるセンサです。 ごく微小な温度変化を超高速かつ非常に精密に計測することで実現した被測定物の熱伝導率を計測することが出来ます。 この熱伝導率を計測できる特徴を生かし、皮膚がんなど、患部を切除することなく非侵襲でがんのステージ診断する機器への応用が期待できます。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
セトラ社 工業用圧力センサ モデル５６７シリーズ
モデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用です。 ユーザで圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。
セトラのモデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用に開発され、顧客での圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。圧力変更機能は５：１まで可能で、スイッチとポテンショメータで行えます。 モデル５６７の薄膜センサは温度補償され長期に渡る圧力サイクルに対して長期安定性は、年間０．１５％ＦＳ未満のドリフトを実現し優れた信頼性をユーザに保証します。全ての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で製作されほとんどの圧力媒体で使用可能です。 温度補償は－１０℃～５０℃は０．５％ＦＳ、-２０℃～８０℃は１％ＦＳ、計測精度は±０．１５％ＦＳで高精度での計測が出来ます。 使用温度範囲の低い－２０℃～５０℃タイプは１００ｋＰａから４０ＭＰａのゲージ圧、絶対圧レンジです。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格：10万円 ~ 50万円
【HVAC・冷媒・冷却水】ACC-6 圧力センサ
過酷な温度環境下の使用に最適に設計された低圧用圧力センサです。 【HVAC・冷媒・空調・冷却水・ポンプ・コンプレッサ・冷凍機】
<主な特徴> ・気密性の高い特別な筐体設計 ・EMC/ESD 優れた耐ノイズ性能 ・幅広い使用温度範囲 ・冷媒・冷却水など低圧で温度環境の厳しいアプリケーションに最適設計 ・優れた費用対効果、コストパフォーマンス <基本スペック> 圧力レンジ ： -0.1...6.0 MPa 温度範囲 ： -40℃....125℃ 保護等級 ： IP67 出力信号 ： 4-20mA, DC 0-10V, DC 0.5-0.45V 精度 ： ≦0.5％ F.S (at 25℃) 補償温度範囲内最大誤差 ： ≦2.0% F.S 長期使用ドリフト ： ≦0.25% F.S /年 (at 25℃） 材質（本体及び継手） ： 真鍮またはステンレススチール 材質（薄膜センサ） ： セラミックス
- 企業：ビカ・ジャパン株式会社
- 価格：~ 1万円
高耐熱サーミスタ「CTサーミスタ」
ガラス封止を採用し、信頼性の優れた、高耐熱アキシャルサーミスタです！
高耐熱「CTサーミスタ」は、ガラス封止を採用し、信頼性の優れた、高耐熱アキシャルサーミスタです。テーピング対応が可能です。用途として、HE機器、冷暖房機器、給湯器、厨房機器、ソーラーシステム、自動販売機、冷凍ショーケース、バッテリー、冷蔵庫に使用できます。SEMITEC株式会社ではバルクセンサ、薄膜センサ、赤外線センサを取扱っており、温度センサを筆頭に、エアコン・冷蔵庫などの家電製品、プリンタ・複写機などのOA機器、自動車、医療機器など幅広い用途に使用されております。
- 企業：SEMITEC株式会社
- 価格：応相談
東北大学技術：FeSiAl合金のMTJ素子：T20-1263
高TMR比・高センサ感度・コストダウンを達成。従来のFeSiAl合金より広い組成範囲で作製可能。
高感度磁気センサとして、磁気トンネル接合(MTJ)素子のトンネル磁気抵抗(TMR)効果を利用したTMRセンサがあり、MTJ素子は自由層の磁気異方性を制御することでTMRセンサの特性を制御できる。このことから、室温で生体の微弱な磁場を検出する生体磁気計測装置、非接触の例えば電気自動車のバッテリ残量検知、コンクリート構造物中の鉄筋の破断や劣化を検知する非破壊検査用磁気センサ、等への応用が期待される。 従来、TMRセンサに利用可能なMTJ素子の自由層として、NiFe合金やCoFeB合金、CoFeSiB合金などが開発されているが、さらなる高感度化やコストダウンが求められている。 そこで本発明ではFeSiAl合金(センダスト)に着目し、これまで製造できていなかったナノメートルオーダーのセンダスト薄膜を製造し、自由層に適用することで、NiFe合金等と同程度のセンサ感度を達成するMTJ素子を作製した。また従来考えられていたセンダストの中心組成より広い範囲で、優れた軟磁性特性を示すことも明らかとなった。
- 企業：株式会社株式会社東北テクノアーチ
- 価格：応相談
