ガス精製フィルター『600シリーズ』
用途に合わせて柔軟に対応できるように設計されています
『600シリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、 アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから不純物を 除去するように設計されたガス精製フィルターです。 寿命は公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として 約1年となっております。具体的な寿命についてはお問い合わせください。 【特長】 ■ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去 ■最大流量:30slpm ■公称流量:6slpm ■最大圧力:0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業:アップ・テック・ジャパン株式会社
- 価格:応相談