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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリング」シミュレーション事例

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

  • 科学計算・シミュレーションソフトウェア
  • その他ソフトウェア
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半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして  お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp

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【事例紹介】コーティング材料メーカー様MIでの機械学習事例

『Pipeline Pilot』を利用した機械学習の活用事例を紹介します【事例紹介】

今回は、特性値を予測することで最適な実験条件の傾向を掴むことを目的としました。 <背景> 従来から現代にかけて、どの分野に関わらずより良い特性値をもつ材料を開発することは重要な業務であり、かつ重要な課題でもあります。 また、材料の特性値は様々な要因によって左右されてしまうため材料開発の効率化も求められています。 例えば、材料開発時に使用された素材や反応時間、そして温度、ヒステリシスのような要因によっても左右されるかもしれません。 この条件全てに対して実験計画法を導入し、実際に実験、測定をしたうえで最適な条件を発見することは理想ですが、 それはコスト面や時間的観点から現実的ではありません。 そこで、 いくつかの実験条件(例えば、説明変数X1、X2、X3、X4、、、)とそれぞれの特性値(例えば、目的変数Y1、Y2)を記した少量のデータセットを使用して機械学習を実施いたしました。 今回の事例では、機械学習モデルの作成、予測精度の改善まで実現する事が「簡単に機械学習を行うこと」できました。 ※詳しくはお問い合わせください。

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【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 科学計算・シミュレーションソフトウェア
  • 分析・予測システム

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【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 科学計算・シミュレーションソフトウェア

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Availability Workbench ALTモジュール

複数の加速条件を簡単に設定!様々な業界の設備管理、故障解析を熟知した専門家が支援

当社で取り扱っている『Availability Workbench ALT(加速試験)モジュール』 についてご紹介いたします。 簡易なデータのインポート/エクスポートによりデータを投入することで 分析を行うことが可能。 「加速試験に関する分析を行い方」や「品質向上のため破壊試験を行いたいが、 サンプル数や時間に限りがありお困りの方」などにお勧めの製品です。 【特長】 ■簡易なデータのインポート/エクスポートによりデータを投入すると分析が行える ■複数の加速条件を簡単に設定 ■様々な業界の設備管理、故障解析を熟知した専門家が支援 ■ツールによるプロジェクト一括管理 ■直感的なユーザインターフェース ■他のモジュールとの連携可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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CAD上でカンタンCFD『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える!開発期間の短縮やコスト削減に!

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。 【特長】 ■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応 ■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成 ■非常に高速で正確、堅牢なソルバー ■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定 ■物理的なテストと優れた相関性を示す正確な計算結果 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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  • その他CAD

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『市場で稼働中の製品と必要修理部品数の推定サービス』

信頼性工学に基づいて、適切な修理部品数を推定。過剰在庫や在庫切れを防ぐソリューション

当社は、市場で稼働している製品数と、必要な修理部品数を 信頼性工学に基づいて推定し、適切な在庫量を導き出すサポートを行っています。 需要予測の実現によって、過剰な修理部品を抱えたり、 不足によって対応ができなくなったりするトラブルを回避できます。 【サービスのメリット・特長】 ■アフターサービスの品質向上 ■在庫保管にかかるコストを削減 ■見積り用のデータがない場合でも対応可能 ※ただいま、修理部品数の推定の仕組み・サービス内容について  分かりやすく解説した資料を進呈中です。  「PDFダウンロード」からご覧ください。

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信頼性評価ソフトウェアReliability Workbench

機能安全、ISO26262に完全対応。故障率計算から故障モード・影響度分析まで支援できます。

Reliability Workbench(RWB)は、信頼性工学に基づく信頼性・安全性・可用性評価を支援するためのソフトウェアであり、以下のモジュール群から構成されます。 ■ モジュール例 ・Prediction:信頼度/故障率予測モジュール  ・FMECA:故障モードと影響及び致命度分析 ・Reliability Block Diagram(RBD):信頼性ブロック図分析 ・FaultTree:故障ツリー分析 ・Reliability Growth:信頼度成長モデル ・Reliability Allocation:信頼度配分 ・Safety Assessment:安全性評価 (HARA)  ・Parts Library:故障率ライブラリー RWBは機能安全規格IEC61508やISO26262等で求められる機器の信頼性及び安全性を評価するためのツールとして、国内外を問わず多くの企業に導入されております。 主な導入先の業界は以下の通りです。 ・自動車 ・鉄道 ・航空機 ・プラント ・産業機器

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【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能!

当社が自社開発した3次元希薄気体解析用のソフトウェア 『DSMC-Neutrals』では、真空装置の排気シミュレーションが可能です。 種々の物理量の計算結果の図示や、過渡的なグラフをプロットすることにより 排気システムの設計・開発において実験だけでは得ることが大変な様々な 情報を簡単に見える化できます。 詳しくは、以下のURLをご覧ください。

  • ポンプ

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