【半導体ガス】 WU-2x 圧力センサ
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX IECEx ・高精度モデル 総合精度0.3%以内 ・長期安定性 ・外部ゼロ調整機能付き ・EMC性能 ・優れた温度補償性能 <製品基本スペック> 圧力レンジ(最小) -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ(最大) -0.1...36.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション:316L VIM/VAR 薄膜センサー: 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA DC 0 ... 5 V DC 0 ... 10 V 総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
- 企業:ビカ・ジャパン株式会社
- 価格:1万円 ~ 10万円