更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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機械の振動状態の把握・監視に！自動車業界、医療業界など、幅広い用途で使用
当社で取り扱っている「振動センサ」についてご紹介いたします。 物体の振動を高精度に計測するための製品で、一般には物体の「変位」や 「速度」、「加速度」を計測することにより、「振動」を検出。 振動センサには、比較的安価で、取付と取扱いも簡単な「接触式」と 振動体に影響を与えず回転体などの部位も計測できる「非接触式」の 2つの種類があります。 【特長】 ■物体の振動を高精度に計測するためのセンサ ■「接触式」と「非接触式」の2つの種類がある ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誤検知リスク低減による集塵機の安定運転！車両通過時に誤検知を防止した事例
鋳造廃材ガラ回収工程において、「車両検知で集塵機の運転を制御したい」 という課題がありました。 そこで、車両検知用の地中埋め込みループコイルで集塵機を制御。 車両通過時に誤検知を防止し、センサの物理的な破損リスクの回避します。 その結果、アマノ駐車場システムで使用するループコイル活用で メンテナンス性の向上、円滑な部品供給を実現しました。 【問題点】 ■フォークリフトの位置を検知して、集塵位置の変更や 扉の開閉を実施したい ■光電管や赤外線等のセンサの使用は、フォークリフトの 通行時の接触による破損リスクが生じる ■現場は粉塵が多く、センサ付着汚れによる誤検知が多発していた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
無人搬送車（AGV)用 磁気式ガイドセンサーに「CAN通信」仕様を新たにラインナップ！ 省配線化に貢献！
GS-500シリーズ CAN2.0A（ISO-11898-1）に準拠したガイドセンサーです。 ■直進誘導モード出力 ■左右分岐モード出力 ■パラレル（15bit)出力 が常時出力となっているため 必要に応じて適した信号を取り込むことが可能！ さらに、検出面及びケーブル引き出し方向が選べるようになりました！ ▶小型や低床の車両設計への柔軟な対応が期待できます ブルーアルマイト処理ケースはフルメタル（IP67構造） で堅牢構造となっています。 通常のデジアナ出力タイプも選べます。 弊社センサーを搭載したAGVのコースならばそのまま使用可能です ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
硬質チューブ内の気泡混入と液面レベルを検出！非接触タイプの液面センサです
『BDRI』は、非接触タイプの液面センサで、洗練されたコンパクトな デザインの一体型クランプオンセンサです。 Introtek社の集積回路を組みこんでいます。 広範なチューブサイズや材質で動作するように設計されており、 取り付けベースが不要な用途にお勧めします。 【特長】 ■非接触技術 ■低コストと高い性能 ■広範なチューブサイズや材質に対応 ■液体の色やチューブ材質による影響なし ■現場校正が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駐車場，工場，室内，トンネル，ダクト内などの CO 濃度を検出し、効率的な喚起をサポートする「COセンサー」
本製品は駐車場などの室内CO濃度を正確に計測し、リニア―なDC信号を出力します。この信号を換気制御に活かすことで大幅な電力削減を実現します。 およそ5年間はキャリブレーション不要です。
二つ折りで保管もラクラク！ベッドの横に敷いて離床時にナースコールでお知らせ！
『たためる薄型マッ太君』は、マットセンサーに重量（体重）がかかると ナースコール等で通知するワイヤレスマットセンサーです。有線対応も可能です。 ベッドの横に敷いて、離床を検出するために使います。 ワイヤレス化によりケーブルが短く、つまづきを防止。 二つ折りにでき、収納しやすいのも特長です。 【特長】 ■折り目がフラットで踏んでも気にならない ■ワイヤレス化でケーブルが1mから10cmに ■不使用時はスイッチで一時停止できるので踏んでもコールが出ない ■ロゴ入りで裏表が分かりやすい ■表面はすべり止め加工されたビニール素材で汚れの拭き取りが簡単 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【超高性能】Iot機器CO2センサー 環境データを簡単クラウド連携
『CO2＆温湿度センサー』は、産業用途にも用いられる高性能センサを 採用した製品です。 広い指向性で人の動きをキャッチし、呼気に含まれるCO2の微妙な変化を検出。 Wi-Fi(2.4GHz)に対応し、4G/LTEルータ経由でのクラウド連携が可能です。 また、ゲートウェイ/PC不要でシステム連携ができ、MQQT(AWS標準対応)や HTTP通信に対応しています。 【特長】 ■保有クラウドまで環境データをお届け ■コンセントに差し込むだけの簡単設置 ■Wi-Fi2.4GHz対応 ■温湿度センサー搭載 ■ゲートウェイ/PC不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
換気システムの常時監視やメンテナンスなどに最適。高い信頼性と優れたコストパフォーマンスを持つ風速センサ。
風速センサ「SS 20.260」は、 高い信頼性と優れたコストパフォーマンスで、 換気システムの常時監視やメンテナンス、エネルギー効率のコントロールに最適なマスフロー方式の風速センサ。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
超⾼速にCO₂濃度を測定できるCO₂センサ
1 秒あたり最⼤50 回の読み取りが可能なため、⾼速で繰り返しCO₂測定が 必要なアプリケーションや、CO₂濃度が急速に変化するアプリケーションに最適です。 標準のフロースルーアダプターが取り付けられているため、CO₂ガスを光 センサーに⾼速で通過させることができます。 アダプターのカスタマイズも可能です。 特許取得済みのNDIR ソリッドステートLED 光学技術を使⽤することで、 他のパラメトリック特性を損なうことなく、急速に変化するCO₂への応答ができます。 ・毎秒50回の読み取り • フロースルーアダプターのカスタマイズ（オプション） • 低電⼒CO₂センサ • 特許ソリッドステートLED光学技術 • UARTデータインターフェース • オートキャリブレーション内蔵
ベッドサイドや部屋出口で、徘徊される方をお知らせします。
■マットに掛かる重圧を検出 ■マットセンサーはベッドサイドや部屋の入口に敷くことで、ベッドから人が降りた(又は落下した)時、又は部屋を出ようとドアに近づいた時に、マットに掛かる人の重さを検知するセンサーです。 ■用途に合わせて4サイズ ■ベーシックサイズのM-38やベッドサイドを広くカバーできるM-4512など5種類のサイズをラインナップしました。 ■親切設計 ●厚さ6mmの高感度薄型タイプで、柔軟性のある素材を使用。各種受信機や表示盤と組み合わせることでアラーム連動やランプ点灯で介護者にお知らせします。 ●表面は、徘徊される方がつまづかないよう、凸凹をなくしました。 ●裏面は床からずれないようにすべり止め材質を使用しています。 ●日常生活防水仕様になっています。 消毒、洗浄も可能です。(ピンプラグ除く) ●3mコード・ピンプラグ付です。 ●コードにはケブラー繊維を組み込みました。強い引っ張りや引きちぎりに耐えます。 ●リード線引き出し部はブッシュ加工で、強い引っ張りに耐えます。 ●ピンフラグは金メッキ仕様で、耐腐食性に優れます。
独自のトリプルミラー方式と信号処理方式を採用で 失報と誤動作を大幅に軽減した屋外・屋内用パッシブセンサー
■独自のエリアを構成するトリプルミラー センサーに3組の光学系ユニットを内蔵。それぞれにツイン型素子(新規開発)を搭載した新しいタイプのパッシブセンサーです。3組の光学系ユニットにより構成されるエリアは、独自の配置設計により、失報と誤動作を大幅に低減します。 また、外灯の様なデザインと内部のミラーを可動してエリア調整ができる構造により外観からエリアの向きを推測しにくく、セキュリティ性に優れています。 ■小動物による誤動作を低減 ミラー毎に独立した検出部を採用しているため、信号処理により猫などの小動物による誤動作を低減します。また、ペットモードを使用することで、中型犬(体高50cm程度)などもキャンセルできるようになるため、ペットを飼われているところでも運用できます。更にバードストッパーを天面に取りつけることで鳥などが寄りつきにくくなり、予期せぬ誤動作を大幅に低減します。
実用的な情報を提供するスマートデバイスが業務全体に不可欠である理由について解説！
5485C速度センサーとSA6200A加速度センサーは、Metrixの地震センサー の2つの例です。 予知保全プログラムの信頼性は、問題を検出するだけでなく、その根本原因を 突き止めることにかかっています。「ベアリングは初期故障段階にあり、まだ 10年の寿命がある」と言っても、全く意味がありません。 設置されたすべての転がり軸受(REB)は、設置当初から初期故障段階にあります。 マーケティング情報ではそうは説明されていませんが、転がり軸受は「摩擦のない」 軸受ではありません。 軸受を潤滑するグリースやオイルは、軸受内の摩擦を低減するのに役立ちますが、 時間の経過とともに、通常の摩耗によって劣化が始まります。 ※ブログの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ポテンショメータセンサと変換器を1台に集約。高精度かつ高い耐久性・耐環境性能でプラント等でも安心
『CP36Uシリーズ』はバルブ制御などに適した無接触式の回転角度センサです。 接触式に比べて寿命が長く、振動・衝撃にも強いなど高い耐久性を実現。 IP67の防塵・防水性能を備えた密閉タイプもご用意可能です。 センサから直接4～20mAの電流を出力するため変換器が不要で、 配線数も少ないことから導入コストを抑えられます。 【特長】 ■直線性±0.2％FSの高精度を実現 ■2線式のため、角度検出機器と電源が離れていてもOK ■電流出力が電線抵抗による電圧降下の影響を受けず長距離伝送に好適 ■機器に取り付けたまま簡単なボタン操作で出力設定が可能 ■スイッチユニットは直付タイプ・着脱タイプの2種類から選択OK ※本製品は開発品です。「PDFダウンロード」より、本製品の紹介資料と 最新版総合カタログをご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ビデオ照準とダブルレーザー併用で0.5mm測定スポットでも容易に照準！
『CTvideo 1M/2M』は、金属、セラミック用の正確高精度赤外線 温度センサーです。 50℃で自動レーザーオフと冷却なしで周囲温度70℃まで使用可能。 CompactConnectソフトウェアでセンサー設定、ビデオ編集、 リアルタイムモニタリングができます。 短検出波長1.0μm～1.6μmで低又は不詳放射率の表面測定の 誤差を低減可能となっております。 【特長】 ■光学分解能300：190mm測定距離の選択可能焦点 ■応答時間1ms ■50℃で自動レーザーオフと冷却なしで周囲温度70℃まで使用可能 ■ビデオ照準と高精度レーザー照準機能付 ■250℃～2200℃の金属測定用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自のシリコンマイクロマシニング技術を駆使したサーモパイル型赤外線センサ
非接触温度センサ サーモパイル TPシリーズは、独自のシリコンマイクロマシニング技術を駆使したサーモパイル型赤外線センサです。用途としては、耳式体温計、放射温度計、電子レンジ、その他非接触温度計測に使用できます。SEMITEC株式会社ではバルクセンサ、薄膜センサ、赤外線センサを取扱っており、温度センサを筆頭に、エアコン・冷蔵庫などの家電製品、プリンタ・複写機などのOA機器、自動車、医療機器など幅広い用途に使用されております。
信頼性の高い非接触下で空気検出機能を提供！パルス型超音波回路が組み込まれてます
『AD8/AD9』は、コンパクトな一体化構造で超音波技術が組み込まれている 非接触型気泡検知センサです。 硬質チューブ用の「AD8」と、軟質チューブ用「AD9」をご用意。 プログラム可能なアルゴリズムを備えており、応答時間、時間遅延、 その他の機能は特定の要件に合わせてプログラム可能です。 【特長】 ■非接触型超音波 ■ドライカップリング ■エア検知閾値も気泡サイズも顧客要件に合わせて設定可能 ■セルフテスト機能（オプション） ■液体やチューブの色の影響を受けない精度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡易型 マイコン式降雪センサー
〇電源電圧は、100V・200V兼用です。 降雪々片を直接検知するため、風による影響が少なく更に雪温センサーの 信号を組合せることにより、低温雨による誤動作がありません。 〇センサー部に、耐候性プラスチックやステンレスを使用し、防錆、耐候性 に 優れています。 〇雪が降り止んでも、一定時間（残雪処理時間）出力を保持します。 〇手動運転に時限タイマーを内蔵、設定した時間後、出力を停止します。 〇「試験」スイッチにより本体制御部の動作確認ができます。 【間欠モード運転】FS-57・58のみ 〇降雪量に応じて自動的に間欠・連続運転を切り替えます。 〇標準品(FS-55)と比較して約20％～の節水・節電が可能です。 ※詳細資料は下記リンクよりダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
摩擦力やひずみ測定用のセンサーもラインアップ！様々な場面でのフォースセンシングを実現
印刷工法によって生み出されるNISSHAの『フィルムフォースセンサー』は、 "薄くて柔軟"、"形状のカスタマイズ"といった特長をもっています。 さらに圧力のみならず、摩擦力やひずみ測定用のセンサーもラインアップし 様々な場面でのフォースセンシングを実現。 産業機器、医療、ヘルスケア、自動車、情報端末、エンターテイメントなど 様々な分野で、お客さまの"作りたい"に貢献します。 【特長】 ＜抵抗膜式圧力センサー＞ ■厚さ200μm以下のフィルム型圧力センサー ■センサーには感圧インクを使用 ■印刷工法により、自由な形状にセンサーを加工することが可能 ■50g程度からの圧力測定が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
くぐり抜け防止に威力を発揮する上下段独立検知方式の赤外線センサー
デュアルレスポンスタイムシステムを採用 小動物や鳥の飛来による誤動作を防止し、かつ侵入者を確実に検出するために、4ビーム同時遮光時と上下段個別遮光時の応答速度を個々に調整することが可能です。 4ビーム同時遮光時:35ms〜500ms 上下段個別遮光時:100、200、300、500ms 相互干渉や回り込みを防止! 変調周波数切替機能 複数の赤外線センサーで直線警戒を行う場合や、多段警戒を行う場合に、赤外線パルスビームの変調周波数を切り替えることにより、相互干渉や回り込みを容易に避けることが可能です。 (スイッチで1CH〜4CHに切替可能です) 最適感度に自動設定! オートゲインロック機能 最大警戒距離内であれば、警戒距離に合わせて最適な感度余裕を自動設定します。電子音によりゲインロックの確認も容易に行えます。 環境悪化を知らせる! 外部環境診断機能 濃霧、豪雨、積雪等により赤外線受光レベルが一定以下にダウンした場合、警報信号とは別に環境悪化信号を出力します。
独自の警戒エリアを構成するツインミラー方式により 小動物の影響が大幅に軽減される新しいタイプのパッシブセンサーです
■ワイドベース設計 ●ベース部をワイド化(Φ150mm)することにより、センサー取替え時に天井面の汚れ跡が目立つといった問題が解消。 ■独自のエリアを構成するツインミラー センサーに2組の光学系ユニットを内蔵、それぞれにツイン型素子を組み込んだ新しいタイプのパッシブセンサーです。 2組の光学系ユニットにより構成されるエリアは、独自の機構設計により、設定距離の長短にかかわらず、警戒距離に応じた最適な位置関係を維持し、小動物による誤動作を大幅に軽減します。 ■微動検知機能搭載 人のわずかな動きだけでも敏感に検出できる機能を搭載しています。 ■オートリセットメモリー機能 複数のセンサーが接続されている場合、刑戒中にどのセンサーが発報したかをメモリー表示灯(黄色)の点滅・点灯により確認ができます。 ●発報後3分間メモリー表示灯が点滅し、その後47分間連続点灯を続け、自動消灯します。 ●モードセレクターにて機能停止可能です。 ■切替式カウント機能 設置場所の状況に応じてモードセレクターで1回・2回・3回・4回の設定が任意に行えます
神経センサー搭載。ジェスチャーでデバイスを自在に操作
Mudra Link は手の神経信号を読み取ることで、スマートデバイスを非接触・直感的に操作できる次世代ウェアラブルデバイスです。 独自開発の神経信号センサー(Neural Interface)により、神経信号を手首から検出し、Bluetooth経由でスマートフォンやAR/VRデバイス、PCなどにリアルタイムで伝達。ジェスチャーや指の動きを介して、音楽再生、通話、スライド操作、アプリ起動など多彩な操作が可能です。
接触式多回転センサ、ギアヘッド（減速機）一体型
市場でGreenPotとして定評のCPP-45に減速ギヤBOXをアッセンブリして多回転の角度検出を実現しました。 ダイキャストケースにウォームギヤとノンバックラッシギヤを組合せ、再現性は±0.03%。 標準の10回転のほか、24回転、35回転、max100回転まで対応可能。 多回転ヘリカルポテンショメータと違い、直線性は同等以上のほか、ヒステリシス、耐久性等センシングにおける信頼性が非常に高くなります。 【よく使用される業種】 プラント機器、産業機械、輸送機器 【主なアプリケーション】 水位計、製箱機、無人輸送機、射出成形機 【使用例】 制御/フロート位置、設定切替、操舵角度、金型ストロークなど 詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。
振動環境に強いポテンショメータセンサ！小型・薄型で組込みも容易。技術情報を掲載した資料を進呈
当社は、産業機械、産業車両、建設機械、船舶、プラント、人工衛星など 様々な分野で実績が評価されております。 今回は、その中でも建設機械や測定機器などの組込みなどに活躍する 2軸傾斜センサ『THD2000Z』、バリエーションが豊富で 4.4mmの薄型化に成功した回転角度センサ『CP-1HX』を紹介します。 『THD2000Zシリーズ』 ■薄型MEMS式 ■狭角度から広角度まで対応可能 ■検出部に機械的共振点がなく振動の影響を受けにくい ■出力形式はレシオ出力、シリアル出力から選択可能 ■選択式16段デジタルダンパ機能などを搭載 『CP-1HXシリーズ』 ■機器への組付け時の出っ張りが少なく小型・薄型 ■シャフト形状は2種類から選択可能 ■広角度、2出力、レシオ出力、PWM出力にも対応 ■耐電磁波、静電気、外部磁界などの信頼性向上 ■セパレートタイプも可能 ※【PDFダウンロード】より技術情報を掲載した資料もご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
検出波長は2.3μm！コンパクトサイズのステンレススチールハウジング
『CSmicro 3M』は、正確な温度測定を実現する低価格の マイクロサイズ赤外線非接触温度センサーです。 金属、金属酸化物、セラミック材料の温度測定用で、緑色LED表示、 照準サポート、自己診断、又は温度コード表示の機能を搭載。 また、温度分解能は30mK（3ML）/50mK（3MH）となっております。 【特長】 ■金属、金属酸化物、セラミック材料の温度測定用小型赤外線温度計 ■50℃からの開始温度と2.3μmの限定波長帯域 ■拡張可能0-5/10、4～20mA（2線式）アナログ出力/ 同時追加アラーム出力 ■緑色LED表示、照準サポート、自己診断、又は温度コード表示 ■スマートフォンアプリ（IRモバイル）又はWindowsソフトウェア （コンパクトコネクト）による簡単プログラミング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度測定が可能！スポットサイズ1.8mm、応答時間は1msで高速
『CT 1M/2M』は、測定温度範囲が250～2200℃の高精度赤外線 非接触温度センサーです。 検出波長1.0μmと1.6μmの短波長帯域により、光沢金属、 二次金属加工、金属酸化物、セラミック材などの物体を ガラス越しでの温度測定が可能。 また、出力/アラームは24V/50mA（オープンコレクター）の製品です。 【特長】 ■短波長帯域1.0μmと1.6μmは測定時の放射率誤差を 最小にし、高精度測定が可能 ■小型サイズ（D）14×（L）28mm のセンシングヘッドはどこの 取付場所にも適しており、冷却せずに周囲温度125℃まで使用可能 ■測定温度範囲250～2200℃で、スポットサイズは1.8mm、 応答時間1msで高速 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
256コードパターンを識別可能！AGV向けの完全非接触タイプ 8bitバイナリー出力 アドレスセンサー SMR-2352
無人搬送車の位置を特定する8bit出力タイプの番地センサー（スポットマークリーダー）です。 任意の情報(0～255)が書き込まれた番地磁石を検出して現在地点の情報から車両制御（分岐、停止、加速、減速など)を行います。 絶対値として読み込みするので、番地の読み飛ばしが起こりにくい。 【主な特長】 ■番地コードは、8bitバイナリーで256のコードを識別可能 ■移動読み取り方式を採用、無人搬送車（AGV）の走行中での読み取りが可能 ■N極の『SMR-2352H2-N』、S極の『SMR-2352H2-S』を用意 ■読み取りタイミング出力を装備したスポットマークリーダーが、移動・走行中に番地磁石板の真上に位置した時に情報を読み取る ■番地磁石板は、黄色と緑色のラミネートから選択可能 ■RFID ICチップ 程大容量が必要無い時など簡単に使えます。 ■埃（ほこり）などの影響でバーコードなどが使いえない環境など ※詳しくはお問い合わせください。
距離情報で周囲環境と検知エリアを分離し誤報を低減！距離が測れる近距離用侵入監視センサ
『BSS300/BSS301』は、24GHz帯の電波を使用した侵入者を検知するセンサです。 ポール監視では、各種侵入監視センサの足下に生じる死角エリアを 上方から地面に向かって補完することが可能です。 マイクロ波は雨、雪、霧、逆光等の影響を受けにくい性質であるため、 赤外線センサ、画像センサ、電界センサ、レーザーセンサ等で誤報が 多い環境でも、より安定した監視ができます。 【特長】 ■雨・風・雪・霧などの気象条件に強く、信頼性が高い ■草木の揺れ等に起因する温度変化の影響を受けない ■壁面沿い、フェンスの上等、設置場所を選ばない ■周囲の反射の影響を受けない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。
ハネウェル製 圧力センサ Trustability HSCシリーズ 高精度 ±1％ Total Error Band アンプ内蔵補正式アナログ出力 ASICで強化された出力 長期間安定性 1psi～150psiまで（60mbar～10bar) 電源 3.6Vdc・5.25Vdc(最大6Vdc) 補償温度 ０°～50° 動作温度 -20°～85° 出力 0.03％FSS DIP、SIP、SMT実装オプションに対応 小型パッケージ さまざまな種類のパッケージとポートを選択可能 液体/液体の差圧およびフロースルー型のポート接続（20PC） RoHS指令とWEEE指令に適合
マイクロ・ナノトライボロジー分野で多方面の実績あり！最小分解能は5μNです
当製品は、起歪体(きわいたい)と静電容量変位計で高分解能微小力測定が できるセンサです。 ダイナミックレンジ80db小型で軽量。 最小分解能は5μNです。 また、センサプローブ取付方向により押込・引張または双方の微小な測定を することができます。 【特長】 ■マイクロ・ナノトライボロジーシリーズ摩擦摩耗試験機のメインセンサ部 ■起歪体(きわいたい)と静電容量変位計で高分解能微小力測定 ■センサプローブ取付方向により押込・引張または双方の微小な測定が可能 ■センサ単体での販売も可能(静電容量式変位計が必要) ■マイクロ・ナノトライボロジー分野で多方面の実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
高TMR比・高センサ感度・コストダウンを達成。従来のFeSiAl合金より広い組成範囲で作製可能。
高感度磁気センサとして、磁気トンネル接合(MTJ)素子のトンネル磁気抵抗(TMR)効果を利用したTMRセンサがあり、MTJ素子は自由層の磁気異方性を制御することでTMRセンサの特性を制御できる。このことから、室温で生体の微弱な磁場を検出する生体磁気計測装置、非接触の例えば電気自動車のバッテリ残量検知、コンクリート構造物中の鉄筋の破断や劣化を検知する非破壊検査用磁気センサ、等への応用が期待される。 従来、TMRセンサに利用可能なMTJ素子の自由層として、NiFe合金やCoFeB合金、CoFeSiB合金などが開発されているが、さらなる高感度化やコストダウンが求められている。 そこで本発明ではFeSiAl合金(センダスト)に着目し、これまで製造できていなかったナノメートルオーダーのセンダスト薄膜を製造し、自由層に適用することで、NiFe合金等と同程度のセンサ感度を達成するMTJ素子を作製した。また従来考えられていたセンダストの中心組成より広い範囲で、優れた軟磁性特性を示すことも明らかとなった。
